Елементи за техническа реализация на метода за директно свързване на сапфирена пластина за чувствителна на натиск структура на сапфир

Технически елементи на изпълнение:

5. За да се реши проблемът, че съществуващата технология е трудна за реализиране на директното свързване на сапфировата пластина в сапфирената чувствителна на натиск структура и ниската работна температура на подготвения сензор за налягане, настоящото изобретение осигурява директно свързване на сапфирена пластина на чувствителната на натиск структура от сапфир. метод на свързване.

6. Настоящото изобретение се реализира чрез приемане на следната техническа схема: метод за директно свързване на сапфирени пластини със сапфирена чувствителна на натиск структура, включващ следните стъпки: 1) Предварително нарязване на сапфировата пластина чрез механично рязане или лазерно рязане , вземете сапфирената пластина с предварително записване a; 2), издълбайте сапфирената пластина b от кухината и след това използвайте механично рязане или лазерно рязане, за да предварите сапфировата пластина b, за да получите предварително начертана сапфирена пластина b; 3), предписващата сапфирена пластина a и гравираната и предварително предписаната сапфирена пластина b се почистват последователно от rca и ултразвуково почистени с дейонизирана вода и след това се гравират с концентриран разтвор на фосфорна киселина, преди да бъдат поставени, образувайки хидроксилен слой в разреден сярна киселина с концентрация 0.5-1 mol/l, изплакване с дейонизирана вода и получаване на хидрофилна предварително обработена сапфирена пластина a и сапфирена пластина b;

4) Подравнете и подредете сапфирената пластина a и сапфирената пластина b след хидрофилна предварителна обработка, поставете ги в бондър за предварително свързване и получете предварително свързана сапфирена пластина; 5), поставете предварително залепените сапфирени пластини Свързаната сапфирена пластина се поставя в приспособлението и се фиксира, след което се поставя върху платформата под налягане под нагревателната камера на вакуумната камера на оборудването за свързване и горната платформа за налягане на свързването оборудването се експлоатира, за да

Свържете се с нас:

Email: zhang@pride-cnc.com

Тел: плюс 86-755-23699351

Моб: плюс 8618666663894