Един вид MEMS микро-гореща плоча, базирана на страничен композитен диелектричен филм и неговия метод на производство

Един вид MEMS микро-гореща плоча, базирана на напречен композитен диелектричен филм и неговия метод на производство

техническа област

1. Настоящото изобретение се отнася до техническата област на mems, по-специално до микро-гореща плоча mems на базата на напречен композитен диелектричен филм и метод за неговото производство.

Фонова техника:

2. Доказано е, че микро-нагревателните плочи, базирани на процеса mems, имат предимствата на миниатюризация, ниска консумация на енергия, бърз термичен отговор и лесна интеграция и се използват широко в сензори за микро-газ, разходомери за микро-газ, инфрачервени излъчватели и микротермометри. Например, когато микро-нагревателна плоча се използва за микро-газ сензор, работата на микро-газ сензора се влияе от неговата работна температура и механична стабилност. Обикновено микронагревателната плоча, използвана за сензор за микрогаз, трябва да осигурява равномерна температура от 150 градуса до 400 градуса и добра. Механичната стабилност на микронагревателната плоча изисква скоростта на нагряване на микронагревателната плоча да бъде бърза и равномерно разпределени. За да бъдат интегрирани в мобилни устройства, микроплотите трябва да намалят консумацията на енергия възможно най-много и да осигурят подходяща температура, като същевременно поддържат добра температурна равномерност, механични свойства и скорост на нагряване, което се превърна в гореща точка в областта на изследванията на микроплотите.

3. Текущата равнинна микро-гореща плоча mems обикновено използва филми sio2, si3n4 или sio2, si3n4, комбинирани във вертикална посока, за да образуват поддържащ слой и диелектричен слой. Въпреки това, ниската топлопроводимост на микро-горещата плоча, използваща само материал sio2, лесно увеличава загубата на топлина и причинява високотемпературна термична деформация. Микро-горещата плоча, използваща само материал si3n4, може да облекчи високотемпературната термична деформация и да увеличи скоростта на нагряване, но високата топлопроводимост Свойствата на sio2 и si3n4 водят до увеличаване на страничните топлинни загуби и деформацията на горещата плоча съставен от филми sio2 и si3n4, комбинирани във вертикална посока, е намален, но страничните загуби на топлина все още съществуват. Тези фактори водят до по-голяма загуба на топлопроводимост и по-висока консумация на енергия на микроплотата с плосък тип в сравнение с микроплотата с висящ мост. Въпреки това, сериозните проблеми на микро-нагревателната плоча тип окачващ мост са голяма деформация, лесна повреда и несъвместимост с други процеси в по-късния етап, което води до нисък добив, ниска стабилност и надеждност на подготовката на устройството, базирано на този тип микро -гореща чиния.

Свържете се с нас:

Email: zhang@pride-cnc.com

Тел: плюс 86-755-23699351

Моб: плюс 8618666663894