Метод на производство на MEMS устройство
Sep 16, 2022
Остави съобщение
техническа област
1. Настоящото разкритие се отнася до mems устройство с подобрено разпределение на напрежението.
Фонова техника:
2. Както е добре известно, електронните устройства mems („микро електромеханични системи“), като задвижващи механизми и/или сензори, обикновено се формират върху субстрат, съдържащ кухина, и включват подвижни структури, окачени от кухината отгоре и ограничени от еластична елемент към фиксираната област. Субстратът, подвижната структура и еластичният елемент могат да бъдат интегрални и обикновено са формирани от полупроводников материал като силиций.
3. Тези електронни устройства включват също: една или повече структури за задействане и/или детекция, свързани към подвижната структура; и електрически управляващи вериги, интегрирани в един и същ субстрат или формирани в различни субстрати и свързването към структурата за задействане и/или детекция може да осигури електрически задвижващи сигнали към структурата за задействане и/или да получи електрически сигнали за детекция от структурата за детекция.
4. По-конкретно, задействащата структура може да причини изместване, например въртене, на подвижната структура, когато се управлява от съответен електрически задвижващ сигнал. По подобен начин, структурата за откриване е конфигурирана да генерира съответни електрически сигнали, които са функция на работните условия на подвижната структура и например функция на обхвата на въртене на подвижната структура.
5. Електрическата управляваща верига и структурата за задействане и/или откриване обикновено са електрически свързани помежду си чрез проводящи пътеки, например образувани от купчина проводими слоеве.
6. Проводимите релси обикновено се простират върху фиксирани зони, еластични елементи и понякога частично върху подвижни конструкции.
7. При използване изместването на подвижната структура води до деформация, например усукване, на еластичните елементи, които ограничават подвижната структура до фиксираната зона.
Свържете се с нас:
Email: zhang@pride-cnc.com
Тел: плюс 86-755-23699351
Моб: плюс 8618666663894