Метод за производство на микромеханичен компонент за сензорно устройство или микрофонно устройство

Технически елементи на изпълнение:

3. Настоящото изобретение предлага микромеханичен компонент за сензорно устройство или микрофонно устройство с характеристиките на претенция 1 и метод за производство на микромеханичен компонент за сензорно устройство или микрофонно устройство с характеристиките на претенция 5.

4. Предимства на изобретението

5. Конструкцията съгласно изобретението, базирана на поне един жертвен слой от поне един електроизолационен материал за жертвен слой на микромеханичния компонент, предложен от изобретението, и същата Конфигурация съгласно изобретението на поне една изолационна област, направена от поне един електрически изолационен материал от материала на изолационния жертвен слой, за да се конфигурира кухината на микромеханичния компонент, може да се извърши процес, подходящ за частично отстраняване на поне един жертвен слой, без да е необходимо да се притеснявате за повреда или премахване поне една област на изолация. По този начин изобретението улеснява снабдяването на съответния микромеханичен компонент съгласно изобретението с поне една изолираща област, която е благоприятно подходяща за електрическа изолация на електродната структура от мембраната, между слоя от мембранен материал и слоя от електроден материал. електрически изолиращ и/или разделящ поне една остатъчна област от поне един жертвен слой от кухината. По този начин изобретението подобрява микромеханичния компонент съгласно изобретението в сравнение с нивото на техниката и допълнително допринася за намаляване на разходите за труд и микромеханичния компонент съгласно изобретението за производство на микромеханичния компонент съгласно изобретението производствени разходи.

6. Поне единият изолиращ участък за разделяне на поне единия остатъчен участък от поне един жертвен слой може по-специално да действа като "защита от ецване" срещу нежелано ецване на поне единия остатъчен участък по време на изграждането на кухината. В същото време се постига поне една изолационна област, изградена от поне един електроизолационен материал за разделяне на поне една остатъчна област.

Свържете се с нас:

Email: zhang@pride-cnc.com

Тел: плюс 86-755-23699351

Моб: плюс 8618666663894